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多晶硅铸锭炉

产品型号:ZG-450D

详细描述

多晶硅铸锭炉

型号:ZG-450 炉型:立式

一. 设备用途:本设备为专利产品,采用电阻加热方式,底部进出料结构。一次装入最多达450Kg/500kg(视坩埚尺寸而定)多晶硅原料用于多晶硅料的铸锭。

二. 设备特点:

1、       炉底设有防漏硅装置及防爆装置;

2、       温度梯度好,拉出硅棒效果好,杂质少;

3、       炉底升降采用机械传动机构,定向结晶通过炉内升降机构,伺服机构保温罩升降平稳,操作方便

4、      本产品重要部件已获得专利,一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉;实用新型200820055740.5;一种带水冷式双电极和软电缆的多晶硅炉;实用新型200820055739.2;发明专利200810033908.7。

三. 技术参数:

1.额定功率:                     200KW  

2.常用温度:                     1500℃     最高温度:1600℃

3.冷态极限真空度:               <1Pa 

4.坩埚尺寸:                     870×870×420(L×W×H)mm

5、最大铸锭重量:                 450Kg

6.移动隔热屏最大位移量:         380(mm)

7.移动隔热屏提升速度:           5~100mm/h(可调)  

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